相城一項目入選2021年省科技成果轉(zhuǎn)化專項資金擬立項項目

近日，2021年省科技成果轉(zhuǎn)化專項資金擬立項項目進(jìn)行公示，全省共89個項目入選。其中，相城一項目成功上榜。這也是2017年以來相城區(qū)在該專項資金項目中取得的新突破。

省科技成果轉(zhuǎn)化專項資金立項項目是江蘇省財政預(yù)算常年安排的單項資助金額最大的項目，因入選項目科技含金量高、所獲支持力度大而備受關(guān)注。相城區(qū)此次上榜項目，是金宏氣體的集成電路用電子級正硅酸乙酯的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目。

蘇州金宏氣體股份有限公司成立于1999年，是專業(yè)從事氣體的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)一體化解決方案的環(huán)保集約型氣體綜合供應(yīng)商，主要為客戶提供各種大宗氣體、特種氣體和天然氣的一站式供氣解決方案。公司于2020年6月在科創(chuàng)板上市（股票代碼：688106）。公司建設(shè)有國家企業(yè)技術(shù)中心、國家博士后科研工作站、省級高純特種氣體工程中心；商標(biāo)、專利等知識產(chǎn)權(quán)多次榮獲知名商標(biāo)及專利獎；企業(yè)先后獲評國家專精特新“小巨人”企業(yè)、國家火炬計劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)、國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)、國家工信部品牌培育試點(diǎn)企業(yè)、江蘇省創(chuàng)新型企業(yè)、蘇州市市長質(zhì)量獎等榮譽(yù)，并與南京大學(xué)、浙江大學(xué)、天津大學(xué)、蘇州大學(xué)、華東師范大學(xué)等多所國內(nèi)知名高校院所開展產(chǎn)學(xué)研合作。

該項目目標(biāo)產(chǎn)品為集成電路中制備外延材料時使用的電子級正硅酸乙酯(TEOS)，屬于微電子高端化學(xué)品，是第三代半導(dǎo)體材料和新興半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中重要的前驅(qū)體材料，需要嚴(yán)格控制金屬離子雜質(zhì)的含量。項目研發(fā)過程中，金宏氣體憑借十幾年電子氣體開發(fā)經(jīng)驗，在天津大學(xué)的技術(shù)支持下，克服電子級TEOS純化過程中金屬離子等雜質(zhì)難以去除、痕量金屬難檢測、設(shè)備、管道、包裝容器易污染等多項技術(shù)難題，形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子級TEOS純化、檢測、過濾、充裝技術(shù)。

“目標(biāo)產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)，促進(jìn)我國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，解決‘卡脖子’難題。”金宏氣體相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，項目研發(fā)對實現(xiàn)國內(nèi)集成電路電子材料的自主可控、打破國外壟斷以及國產(chǎn)替代進(jìn)口具有十分重要的意義。

近年來，我區(qū)科技創(chuàng)新能力顯著增強(qiáng)，科技成果轉(zhuǎn)化率不斷提高，項目規(guī)模和科技含量持續(xù)提升。相城區(qū)將提升企業(yè)創(chuàng)新能力、培育創(chuàng)新型企業(yè)集群作為根本落腳點(diǎn)，不斷創(chuàng)新項目組織機(jī)制，采取無償資助、貸款貼息等方式，促使區(qū)內(nèi)科技成果的轉(zhuǎn)化落地不斷提速，幫助一批高成長性的項目企業(yè)由小到大、由弱到強(qiáng)，由追趕者變成了領(lǐng)跑者的“小巨人”，培育了一批創(chuàng)新型領(lǐng)軍企業(yè)。（龐淑婕）